Oberkochen, 28. Oktober 2022 – Der Sensorlösungs-Anbieter HENSOLDT hat das 300. Hochpräzisionsmessgerät Final-Focus-Metrology (FFM) für die Chipindustrie ausgeliefert. Seit 2012 werden diese Kontrollsysteme bei HENSOLDT Optronics in Oberkochen produziert und kontinuierlich weiterentwickelt. Die 300. Einheit stellt mit Blick auf die Rolle von HENSOLDT auf dem zivilen Markt einen Meilenstein dar.
FFM ist ein hochpräzises Messgerät im Wellenlängenbereich von zehn µm. Mittels Highspeed-Positionssensoren, -Energiesensoren und eigens entwickelten -Wellenfrontsensoren werden performancekritische Prozessparameter eines Hochenergielasers, sowie Formen und Positionen von ca. 30µm großen Zinn-Tröpfchen in einer Vakuumkammer bestimmt. Anhand der Daten, die durch die FFM ermittelt werden, wird ein Regelkreis geschlossenen und die Performance und Treffsicherheit eines Laserstrahls, der die Zinn-Tröpfchen, die zur Herstellung des ultraviolettem (EUV)-Lichts je zweimal treffen muss, optimiert und so die Effizienz der Lichterzeugung entscheidend mit beeinflusst. Die FFM fungiert dabei als die maßgebliche optoelektronische Kontrolleinheit, 50.000-mal in jeder Sekunde. Ohne das EUV-Licht wäre die Herstellung der heute leistungsfähigsten Computerchips nicht möglich.
„HENSOLDT Industrial Commercial and Space Solutions besitzt ausgezeichnete Fähigkeiten in Sachen Infrarot-Technologie. Täglich arbeiten wir mit Wärmebild-Technologie für Weltraum-Anwendungen, die eine maßgebliche Basis für die Entwicklung von FFM darstellen. Daher konnten wir FFM schnell und erfolgreich entwickeln,“ sagt Andreas Hülle, Leiter des Bereichs Optronics & Land Solutions und Geschäftsführer von HENSOLDT Optronics. „Zu unserem erfolgreichen Zivilgeschäft trägt FFM einen maßgeblichen Teil bei.“
Derzeit liegt das Ziel bei einer EUV-Lichtleistung von ca. 400-600 W. Diese soll mit der bei HENSOLDT neu gestarteten 1µm-Technologieentwicklung zukünftig erreicht werden. Das momentane Produkt „FFM S3+ Phase 2“ ist die neuste Generation der optoelektronischen Kontrolleinheit im Serieneinsatz. Die Lichtleistung wurde dadurch nochmal erheblich erhöht. Aktuell läuft die Entwicklung der vierten Generation.
Über HENSOLDT
HENSOLDT ist ein führendes Unternehmen der europäischen Verteidigungsindustrie mit globaler Reichweite. Das Unternehmen mit Sitz in Taufkirchen bei München entwickelt Sensor-Komplettlösungen für Verteidigungs- und Sicherheitsanwendungen. Als Technologieführer treibt HENSOLDT die Entwicklung der Verteidigungselektronik und Optronik voran und baut sein Portfolio auf der Grundlage innovativer Ansätze für Datenmanagement, Robotik und Cybersicherheit kontinuierlich aus. Mit mehr als 6.400 Mitarbeitern erzielte HENSOLDT 2021 einen Umsatz von 1,5 Milliarden Euro. HENSOLDT ist an der Frankfurter Wertpapierbörse notiert.
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